炭/炭复合料单晶生长热场系统项目
炭/炭复合料吨/年、碳/石墨料吨/年
可行性研究报告
有限责任司
二OO年月
有限责任司
地址
电话
院长
主管副院长
总建筑师
总规划师
编制人员
目录
第一章总论.................................
一项目背景................................
二项目主要经济技术指标.....................9
三研究结论................................
第二章市场预测.............................2
一产品市场供应预测........................2
二产品目标市场分析.........................
三总体营销思路.............................
第三章建设地规模与产品方案....................
一建设地规模..............................
二产品方案................................
第四章场址选择.............................9
一场址所在位置现状........................9
二场址建设条件............................9
第五章技术方案、设备方案...................22
一技术方案..............................22
二主要设备方案............................2
第六章主要原料、燃料供应....................2
一主要原料供应............................2
二能源供应...............................2
三主要原料价格............................2
第七章总体布置、运输与辅助工程..............27
一总体布置..............................27
二场内外运输............................27
三辅助工程..............................28
第八章节能、节水措施........................
一概述...................................
二节能措施................................
第九章环境影响评价.........................2
一项目建设和生产对环境的影响................2
二环境保护措施方案........................2
三环境影响评价.............................
第十章劳动安全卫生与消防.....................
一劳动安全................................
二生产事故及防范...........................
三职业危害的防护...........................
四消防设施................................
第十一章组织机构与人力资源配置...............7
一组织机构...............................7
二人力资源配置............................8
三员工培训计划............................8
第十二章项目施进度.........................9
一项目建设工期............................9
二施工进度安排............................9
三项目施进度表横线图.......................9
第十三章投资估算............................
一投资估算依据.............................
二估算范围................................
三项目建设投资............................2
四资金筹措................................
第十四章财务评价...........................
一评价依据、范围及指标......................
二经济评价................................
三财务评价...............................7
四不确定性分析............................8
第十五章研究结论...........................9
受有限司的委托我们对炭/炭复合料单晶生长热场系统项目炭/炭复合料2吨/年、碳/石墨料吨/年可行性进行了研究通过对该项目所在地区的市场、环境、交通、电力、给排水、通讯等条件进行调查收集有关基础资料并与建设单位交换意见在认真调查和分析资料的基础上编制了《炭/炭复合料单晶生长热场系统项目可行性研究报告》。
、项目名称
项目名称炭/炭复合料单晶生长热场系统项目
项目建设单位有限司
项目建设规模为炭/炭复合料吨/年碳/石墨料吨/年
项目建设选址国家级开发区
2、承办单位概况
项目司名称有限司
成立时间2年月日
注册资本人民币万
注册地址
企业登记注册类型
有限司属股份制企业由业集团、教授共同出资成立。其中教授以其拥有的居国际先进水平的专利技术作技术出资。
生产基地位于开发区内占地亩花园式工业区是业集团下属单位。主要从事新料的开发及生产。系大学粉末冶金学院教授、博士生导师教授领导的科研队伍在该领域居于国际领先地位。司以教授拥有的专利知识产权技术和雄厚的研发力为依托通过整合人才、技术与市场优势构筑新料基地。司计划投资万元人民币建设炭/炭复合料2吨/年、炭/石墨料吨/年的生产线现年工业产值.亿元人民币以上。并且司计划以此为产业基础通过年的时间使司的产品能够覆盖国内大部分或全部的硅单晶生长炉的热场系统逐步进入国外硅单晶炉热场系统市场；努力开发新产品扩大该新料的应有领域使其应有到其他的晶体生长设备及相关的高技术领域。
、可行性研究报告编制依据
●国家、省、市国民经济和社会发展第十个五年计划；
●经济技术开发区产业发展规划；
●国家计委、建设部颁布的《建设工程项目经济评价方法与参》；
●其他件、协议等。
、项目提出的理由与过程
当今世界新料的发展日新月异特别是电子、通讯等相关领域发展迅猛对硅料需求十分旺盛。十年以来硅料行业一直以“提高硅单晶的尺寸和质量”为主要目标先后生产了、、、8、2、、8英寸硅片。据最新的《国家半导体技术ITRS》介绍直径8英寸硅单晶抛光片是2英寸的下一代产品也是未来22nm线宽的G集成电路的衬底料。集成电路产业是息产业的核心全世界以集成电路为核心的电子元器件9以上是硅料制成的其中直拉硅单晶的量超过8。随着超大规模集成电路集成度的迅速提高迫切要求采大直径的直拉硅单晶抛光片。超及完整晶体结构的硅晶体是一条长长的价值链的起点。没有硅晶体就没有半导体、光电子、通讯技术及光电技术。硅晶体棒于制作晶圆晶圆是半导体工业中制作芯片的基础料。硅料的另一个大的需求来自太阳能。从长远看世界上一半以上的能源生产要采可再生能源。可再生资源主要有风、水、太阳能。太阳能直接转换成电能光电效应靠太阳能电池完成。电池的原料是带特定晶体结构的硅。专家预测在今后的十年结晶硅将在太阳能电池的生产中成为在、最主要的料。硅片工业目前在生产与市场方面已经形成了垄断日本、德国等国的资本控制的八大硅片司的销量占硅片总销量的9当前IC主流硅片是8英寸并向2英寸过渡。市场调研预测到2年2英寸的硅片的比例将由目前的.增到2.。
在IC和太阳能发电等领域对硅单晶的巨大需求和消对其生产能力对生产技术提出了高的要求。其中生产高半导体料的高温电热真空炉——硅单晶生长炉正在向大型化、自动化的方向发展。硅单晶生长炉隔热保温筒、坩埚、发热体等热场系统元件采高石墨、超高石墨料制造产品要求料的金属杂质含量要求不超过ppm。同时硅单晶生长炉最主要的易损件的消耗量特别大。根据权威部门统计一台小型晶体生长炉如2英寸每年消耗的石墨坩埚、热器、保温隔热料的价值达到2万元以上；一台大型晶体生长炉的热场系统备件损耗可达万元以上。由于生产大型高石墨、超高石墨料工艺控制难需要大型的等静压设备等其投资极大。因此高石墨尺寸受到限制经常不能满足制造较大硅单晶生长炉的热场零件的要求；另外石墨脆性大机械强度不高使可靠性不强使寿命短。本项目提出的炭/炭复合料单晶生长热场系统零件的料及热场解决方案经过践验证对解决以上问题起到了很好的效果。施本案对发展大型硅单晶生长设备制造大尺寸的晶体提升我国电子技术水平具有极为重大的意义。
、项目拟建地点
本项目拟建于国家级经济技术开发区内。
国家级经济技术开发区创建于年月2年月经国务院批准为国家级经济技术开发区。建区年来开发区坚持“以工业项目为主、吸引外资为主、出口为主和致力于发展高新技术”的方针强调以产业发展为中心走产业兴区之路通过卓有成效的招商引资工作目前入区工业企业家其中三资企业家内资企业家入区企业基本上现了由单个到群体的转变区内产业也正由零散向集成转变。到目前为止区内共完成基本建设投资亿元移动土石方近亿立方米完成亿元人民币的基础设施投资任务各项建设工作都得了十分显著的成绩。目前区内主次干道已拉通条总长里；座大型跨线桥已经竣工通车；已经完成里架设铁塔座的三回超高压线路的改道工程个千伏的变电站已经投入使目前区内日供电能力已经达到2万千瓦时；2座日供水万吨的自来水厂已经投入运行；日处理能力8万吨的污水净化中心已经正式营业；装机容量为万门的程控大楼现已开通2门程控电话和高速宽带通讯网现了与个国家和地区通联网；投资万元的电视发射塔已经正式投入使。
目前经济技术开发区已经形成了以、为主体的先进制造工业以为主体的电子息产业以为主体的新料产业以系列为主体的食品饮料产业以为主体的轻印产业等五大产业格局。2年年底区内累计完成总产值亿元。
经济技术开发区位于地理位置优越交通十分便利。
、项目预期目标
炭/炭复合料单晶生产热场项目总体规划占地亩总投资979.万元总建筑面积7平方米全部为标准工业厂房固定资产投资279.9万元。
项目建设预期目标形成年产炭/炭复合料2吨/年、碳/石墨料吨/年的生产能力。
项目经济效益项目施期内年含年建设期现营业收入2.万元现利润.万元上缴税收8.78万元项目具有良好的经济、社会效益。
7、项目主要建设条件
本项目市场前景较好市场容量大；项目生产所需能源有保障来源稳定可靠；项目建设资金有保障；项目建设地政府对项目建设大力支持项目地落建设地域交通方便施工条件良好建设项目的主要条件基本具备。
项目建设主要经济技术指标见表-。
炭/炭复合料单晶生产热场项目主要经济技术指标
表-
建设炭/炭复合料单晶生长热场系统项目能促进经济技术开发区及整个市工业发展快地方产业结构调整增人民收入；同时可拓宽就业渠道保持项目区社会经济的可持续健康快速发展。本项目建设符合国家产业政策符合国家的投资方向当地政府大力支持建设条件具备工程技术方案切可行市场前景广阔经济效益良好社会效益明显项目建设是必要的也是可行的。
、国内供需现状
国内现有生产硅单晶的设备余台近年来每年递增2台左右。目前的设备主要拉制从〞至〞少量为8〞的晶棒。由于单炉投料量仅为几十斤因此采高石墨制造坩埚而这些高石墨为进口冷等静压石墨。英寸的热系统的隔热保温套则为进口件。相当一部分较大型的进口设备其热系统完全依靠进口。
C/C复合料热场系统研究组为满足半导体工业的要求与西安理工大学单硅晶基地、有研硅股等单位合作对C/C复合料热场系统进行试验和使。在西安C/C复合料制作的2＂坩埚(Φmm)及热器,装在有横向磁场的TR-2上使情况很好。
2、国外的发展现状
99年东芝陶瓷申的美国专利介绍二维C纤维织物绕制作成Si单晶生长炉坩埚坯体浸渍树脂后碳化制成坩埚。随后在997年美国lsh等三维C/C复合料制造了Si单晶生长炉坩埚埚帮、埚托、发热体、隔热屏及支撑块等；Metter等人制备的高C/C复合料制造的硅单晶生长炉的热场零部件通过一系列的高温处理金属杂质含量控制到很低的程度。999年shim等采C/C复合料在硅单晶生长炉的底部设置一个容积等于坩埚的容积的环槽在硅单晶生长炉出现意外漏硅时可以防止其他热场零件受到损伤。
东洋炭、SGLCrbonCompositesInc.等国外厂商在其产品介绍中,也提到C/C复合料制造单硅晶生长炉的坩埚、发热体等产品。其中提到的个别产品已经投入使大则仍处于研究阶段。
、目标市场确定
超高及晶体结构完整的硅晶圆是半导体工业中制作芯片的基础料。集成电路的出现及发展使人类步入了电子时代。随着电子元件尺寸小型化、管芯面积大型化与LSI集成度的日益提高硅单晶生长技术装备面临新的挑战。
为改变我国集成电路关键基础料技术水平低、品种不配套、产业化规模小、关键基础料依赖进口的局面国家科技部设立了电子配套料专项选择2英寸硅单晶抛光制备技术研究作为首次研究任务并要求2英寸硅单晶抛光片形成小批量生产能力达到..μm集成电路技术要求。施该项目第一个要解决的是2英寸硅单晶生长技术与装备的问题大尺寸的热场系统的关键元件的设计制造技术也迫切需要解决。
本项目产品的销售市场主要集中在长江三角洲、珠江三角洲、环渤海地区等电子产业发达地区上述地区的客户对本案提出的方案有浓厚的兴趣。
2、主要竞争对手情况
硅单晶炉热场的市场目前主要由两部分组成炭/炭复合料制件市场由日本的东洋炭、东海、吴羽化工等家占领；而高石墨件这部分则是主要由国内的一些厂家进口日本东洋炭司的石墨工而成。国内现在有几家在上大尺寸高石墨项目。同时从近一年的复合料热场零件的试过程中许原来制造石墨件的厂家也准备生产与炭/炭复合料相似的产品。
国内还没有生产当今世界上的主流产品2英寸硅单晶的设备国内的设备只来生产8英寸的硅棒。而且该设备使的坩埚、保温隔热件等整个热场系统依靠进口。国外大型硅单晶生长设备的热场系统均由国外厂家的产品配套其中吴羽司的产品市场占有率最高。中国、欧美市场几乎全部为其所垄断。但是在硅行业迅猛发展的今天其生产能力有限市场空缺较大。迅速现硅单晶生长炉的热场国产化对发展我国的IT产业的意义极大。
、项目的市场优势
由于国外司控制了该类产品的市场产品价格奇高。所以与国外对手相比较本项目的产品有较大的价格优势。
同时由于经济技术开发区有限司拥有自主知识产权通过前期的产品研究开发掌握了对生产的主要设备的技术要求及各项具体措施摸索出了料制备的主要工艺过程及相关技术参已先一步于国内竞争对手生产出了满足工业应要求的产品。在技术上领先于国内对手；对于国际上的竞争对手通过努力控制生产成本在价格上也应当具有优势。
通过大量的、方位的工业性试验了解了市场需求和使要求及其细节减少了盲目性降低了风险；通过试验和使与使方有较的沟通与客户建立了良好的关系。
根据产品的目标市场定位、产品定位及竞争力的研究结论在市场营销战略上应注意两个方面
一是建立完善的销售及售后服务网络由销售工程师针对客户的使和息进行调研以满足向高附值产品发展的要求。
二是在产品质量无较大差距的情况下价格就成为高度敏感的因为提高产品竞争力要发挥低成本策略的作充分利自身优势发展稳定而灵活的销售机制。本项目的产品价格的制定原则上以国外同等质量的相同产品的价格为基础较之低2。
确定项目建设规模遵循的基本原则
●合理经济规模；
●市场容量；
●企业本身的资金、资源、原料以及外部协作条件等
通过对项目规模建设影响的因进行了综合考虑确定了项目的建设规模本项目建设需占地亩经研究决定特在经济技术开发内购地亩于开发此项目。
项目建设分列如下
、产品方案构成
项目建成以后司以生产、工热场系统的保温隔热料及坩埚为主生产部分的大型发热体。针对这些产品的高度要求对进入生产线的原料的度、生产线的洁净度进行严格控制保证产品的度和质量；料的生产制造工艺、产品的机械工、产品的转运、包装等过程要进行严格控制在料及产品的成型过程中合理安排提工艺处理保证产品的高质量提高产品的度。根据产品的品种、规格的特点产品开发需要一项一项进行争在年内司的产品能够覆盖大部分或全部的硅单晶生长炉的热场系统同时逐步扩大到其他的晶体生长设备进而扩大到其他的高技术领域。
2、产品方案的目标
司成立以后主要是以硅单晶生长炉的坩埚、保温筒和固化保温毡为主要产品重点针对国内当前面大量广的英寸热场系统。等到该产品市场较为巩固以后再开发其他系统的热场零件。
司热诚与科研院所、企业合作研究硅单晶生长炉对热场零部件的使要求研究C/C复合料制造的热场零件的特性掌握C/C复合料在单晶生长炉上的特殊性和规律性满足硅单晶生长炉具的其他性能要求。
自主开发突破关键技术现C/C复合料制造硅单晶生长炉热场零部件的国产化。配合8计划专项计划
●及早研制出完全能满足IC级单晶Si生长炉拉制Фmm晶棒的坩埚坩埚直径在mm左右；
●研制出拉制Фmm硅晶棒的单晶棒的单晶生长炉发热体(发热体的直径在Ф8mm左右);
●通过物理机械性能检测,料的抗拉强度达到普通高强石墨的倍以上;金属杂质含量控制在PPm以内；
●现C/C复合料单晶硅生长炉热场的工业化生产;密切与户合作,调整制造热场料的设计和拉晶的工艺参,将产品做到令户十分满意。
、地点与地理位置
本项目的选址充分考虑项目的市场需求、物流成本等因。同时项目选址将充分考虑项目物流量主要通过路和航空等物流通道向全国辐射的发展目标。
经征询专家意见本项目拟选址在开发区内、运输条件较好、周围产业基础雄厚并且离城区不远、可依托开发区有关福利等基础设施。
该厂址位于开发区开发区紧邻7高速路距星沙物流中心2里生产原料及辅助料以及生产的深工系列产品可通过路、航空等方式运输交通运输条件十分便利。
、自然条件
经济技术开发区的地理环境十分优越
项目区工程地质情况根据《中国地质裂度区划图99》勘察地区地震最高裂度为VI度。根据水质分析结果按《岩土工程勘察规范GB2—9》有关标准测定整个开发区内地下水有关标准测定对砼无腐蚀性。
气候条件
气温
2降水量
湿度
风
最大积雪深度2cm
